Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	HNILICA Jaroslav KLEIN Peter HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr
Rok publikování	2015
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution of HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends only on the actual value of the discharge current for given pressure. Rotation of the spokes over the target surface and the frequency of the oscillations on cathode voltage and discharge current show different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy