MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Středoevropský technologický institut. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	MEMS senzor na bázi autoemise uhlíkových nanotrubek se zjednodušeným designem: studie autoemise a chování senzoru
Autoři	PEKÁREK Jan VRBA Radomír PRÁŠEK Jan JAŠEK Ondřej MAJZLIKOVA Petra PEKÁRKOVÁ Jana ZAJÍČKOVÁ Lenka
Rok publikování	2015
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	IEEE Sensors Journal
Fakulta / Pracoviště MU	Středoevropský technologický institut
Citace
www	IEEE Web
Doi	http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2014.2363213
Obor	Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova	Carbon nanotubes; field emitter arrays; microelectromechanical systems; microwave torch
Přiložené soubory	MEMS_Carbon_Nanotubes_Field_Emission_Pressure_Sensor_With_Simplified_Design_Performance_and_Field_Emission_Properties_Study.pdf ZVV_2015_1219886_MEMS_Carbon_Nanotubes.pdf
Popis	Aplikace senzorů tlaků mají v poslední době velký význam. V tomto článku je MEMs senzor založený na nanostrukturované elektrodě obsahující pole uhlíkových nanotrubek připravených pomocí metody PECVD mikrovlnných pochodňovým výbojem.
Související projekty:	Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností CEITEC - středoevropský technologický institut