Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2013
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition
Související projekty:	CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev