INFLUENCE OF Ni DOPING ON PROPERTIES OF Ti-C NANOCOMPOSITE COATING PREPARED BY HYBRID PVD-PECVD PROCESS

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

DANIEL Josef SOUČEK Pavel ZÁBRANSKÝ Lukáš JURMANOVÁ Jana BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Rok publikování 2013
Druh Článek ve sborníku
Konference PAPN 2013: Book of Extended Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova titanium carbide; ternary carbides; magnetron sputtering; hard coatings
Popis The nc-TiC/a-C(:H) coatings doped by nickel were prepared by hybrid PVD-PECVD process. Ni pellets were placed on titanium target and they were sputtered in mixture of argon and acetylene atmosphere. We found that C2H2 inlet position and the flow rate of acetylene has significant influence on composition of coatings. Mechanical properties were also determined.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.