Modelling of electric characteristics of capacitively coupled discharges including nonlinear effects of sheaths

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Modelování elektrických vlastností kapacitně vázaných výbojů včetně nelineárních vlastností stěnových vrstev
Autoři	DVOŘÁK Pavel
Rok publikování	2013
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Sources Sci. Technol.
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Doi	http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/4/045016
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	plasma; capacitively coupled discharges; higher harmonic frequencies; sheaths; electric characteristics
Popis	Model elektrických vlastností kapacitně vázaného výboje a diskuze výsledků tohoto modelu s důrazem na nelineární vlastnosti kapacitně vázaného plazmatu projevujících se generováním vyšších harmonických frekvencí.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy