Modelling of electric characteristics of capacitively coupled discharges including nonlinear effects of sheaths

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Ekonomicko-správní fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Modelování elektrických vlastností kapacitně vázaných výbojů včetně nelineárních vlastností stěnových vrstev
Autoři

DVOŘÁK Pavel

Rok publikování 2013
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Sources Sci. Technol.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Doi http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/4/045016
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma; capacitively coupled discharges; higher harmonic frequencies; sheaths; electric characteristics
Popis Model elektrických vlastností kapacitně vázaného výboje a diskuze výsledků tohoto modelu s důrazem na nelineární vlastnosti kapacitně vázaného plazmatu projevujících se generováním vyšších harmonických frekvencí.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.