Informace o projektu
Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
- Kód projektu
- MSM 143100003
- Období řešení
- 1/1999 - 12/2004
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Výzkumné záměry
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Výsledky
Kinetika plazmochemických rakcí a procesů depozice tenkých vrstev tvrdých a supertvrdých materiálů. Absorpční a emisní spektra plazmatu obloukových výbojů.
Publikace
Počet publikací: 402
1997
-
Generace supersonického toku plazmatu pomocí jednopólových vf výbojů
ICPIG XXIII, rok: 1997
-
Influence of deposition parameters on mechanical properties of plasma deposited silicon oxide films on polycarbonates
WDS97, rok: 1997
-
Influence of discharge and substrate parameters on PECVD of TEOS/argon mixtures
ICPIG XXIII, rok: 1997
-
Kombinovaný hořák s jednopólovým radiofrekvenčním výbojem
Prograss in plasma processing of materials, rok: 1997, počet stran: 7 s.
-
Kombinovaný hořák s radiofrekvenčním výbojem
Plasma Chemistry and Plasma Processing, rok: 1997, ročník: 1997, vydání: 1
-
Mechanical and optical properties of silicon oxide protective coatings prepared by PECVD
Juniormat, rok: 1997
-
Memory effects in the electrical breakdown of a low pressure gas
Proceedings of International Conference on Phenomena in Ionized Gases, rok: 1997
-
Mikrovlnný pochodňový výboj kombinovaný s klasickým hořákem
Microwave discharge Fundamentals and Application, rok: 1997, počet stran: 6 s.
-
Oxidační procesy v kapalinách pomocí klouzavého oblouku při atmosférickém tlaku
ICPIG XXIII, rok: 1997, počet stran: 2 s.
-
Plazmochemický reaktor s pochodňovým výbojem za atmosférického tlaku
ICPIG XXIII, rok: 1997, počet stran: 2 s.