Project information
Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra

Information

This project doesn't include Faculty of Economics and Administration. It includes Faculty of Science. Official project website can be found on muni.cz.

Project Identification

FV40328

Project Period

5/2019 - 12/2022

Investor / Pogramme / Project type

Ministry of Industry and Trade of the CR

TRIO

MU Faculty or unit

Faculty of Science

Cooperating Organization

Brno University of Technology
Czech Meteorological Institute
Meopta - optika, s.r.o.

Responsible person David Škoda, Ph.D.

Hlavní cíle předkládaného projektu jsou:

1. Úplná optická charakterizace jednoduchých (single) vrstev používaných ve vrstevnatých systémech, tj. vrstev Al2O3, MgF2, HfO2 a SiO2. Charakterizace potenciálně slibných vrstev Sc2O3 bude také provedena.
2. Vývoj antireflexních pokrytí na skleněných podložkách při kolmém dopadu světla s požadovanými hodnotami propustnosti ve vlnových délkách 213 nm a 248 nm. Výroba vzorků na základě návrhů a optická charakterizace těchto vzorků. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti.
3. Vývoj zrcadel s vysokou odrazivostí na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami průměrné odrazivosti pro vlnové délky 248 nm a 213 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti.
4. Vývoj děličů světelných svazků na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami pro p-složku propustnosti nebo pro průměrnou propustnost ve vlnové délce 248 nm a s požadovanými hodnotami pro s-složku odrazivosti pro vlnové délky 630 nm – 670 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti.
5. Měření vnitřního napětí a parametrů charakterizujících mechanické vlastnosti vrstev a vrstevnatých systémů pro posouzení jejich životnosti spolu s kontrolou plošné uniformity jejich optických parametrů.

Publications

Total number of publications: 10

2023

Optical Characterization of Gadolinium Fluoride Films Using Universal Dispersion Model

FRANTA Daniel VOHÁNKA Jiří DVOŘÁK Jan FRANTA Pavel OHLÍDAL Ivan KLAPETEK Petr BŘEZINA Jaromír ŠKODA David

Article in Periodical

Coatings, year: 2023, volume: 13, edition: 2, DOI
Optical method for determining the power spectral density function of randomly rough surfaces by simultaneous processing of spectroscopic reflectometry, variable-angle spectroscopic ellipsometry and angle-resolved scattering data

VOHÁNKA Jiří ŠULC Václav OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav KLAPETEK Petr

Article in Periodical

Optik, year: 2023, volume: 280, edition: June, DOI

2022

Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries

VOHÁNKA Jiří OHLÍDAL Ivan BURŠÍKOVÁ Vilma KLAPETEK Petr KAUR Nupinder Jeet

Article in Periodical

Optics Express, year: 2022, volume: 30, edition: 2, DOI
Optical characterization of inhomogeneous thin films with randomly rough boundaries exhibiting wide intervals of spatial frequencies

OHLÍDAL Ivan VOHÁNKA Jiří BURŠÍKOVÁ Vilma DVOŘÁK Jan KLAPETEK Petr KAUR Nupinder Jeet

Article in Periodical

Optics Express, year: 2022, volume: 30, edition: 21, DOI
Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.

PEKAŘ Václav BŘEZINA Jaromír ŠKODA David OHLÍDAL Ivan VOHÁNKA Jiří FRANTA Daniel FRANTA Pavel DVOŘÁK Jan OHLÍDAL Miloslav ŠULC Václav KLAPETEK Petr HAVLÍČEK Marek

Year: 2022

2021

Characterization of randomly rough surfaces using angle-resolved scattering of light and atomic force microscopy

ŠUSTEK Štěpán VOHÁNKA Jiří OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav ŠULC Václav KLAPETEK Petr KAUR Nupinder Jeet

Article in Periodical

Journal of Optics, year: 2021, volume: 23, edition: 10, DOI
Vysoceodrazná vrstva na substrátu ve specifikaci R >= 98,5 % @ 248 nm a R >= 98 % @ 213 nm pro úhel dopadu 45.

PEKAŘ Václav BŘEZINA Jaromír ŠKODA David OHLÍDAL Ivan VOHÁNKA Jiří FRANTA Daniel FRANTA Pavel DVOŘÁK Jan OHLÍDAL Miloslav ŠULC Václav KLAPETEK Petr HAVLÍČEK Marek

Year: 2021

2020

Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm.

PEKAŘ Václav BŘEZINA Jaromír ŠKODA David OHLÍDAL Ivan VOHÁNKA Jiří FRANTA Daniel FRANTA Pavel OHLÍDAL Miloslav ŠULC Václav KLAPETEK Petr HAVLÍČEK Marek

Year: 2020
Estimation of roughness measurement bias originating from background subtraction

NEČAS David KLAPETEK P. VALTR M.

Article in Periodical

MEASUREMENT SCIENCE & TECHNOLOGY, year: 2020, volume: 31, edition: 9, DOI
How levelling and scan line corrections ruin roughness measurement and how to prevent it

NEČAS David VALTR Miroslav KLAPETEK Petr

Article in Periodical

Nature Scientific Reports, year: 2020, volume: 10, edition: 1, DOI